微纳技术与精密机械 | 高频超声-快刀伺服复合加工及工艺验证
微纳技术与精密机械 | 高频超声-快刀伺服复合加工及工艺验证
摘要:微结构阵列是先进光学系统的关键功能载体,其规模化生产高度依赖于模压成型。常见的模具由模具钢等难加工材料制备,其表面微结构的高效高精制造是关键技术挑战。为此,提出一种将高频椭圆振动切削(High-frequency Elliptical Vibration Cutting, HEVC)和快刀伺服技术(Fast Tool Servo, FTS)相结合的方法,以实现制造精度和效率的双提升。通过构建纵弯耦合振动的传递矩阵解析模型,初步完成了高频椭圆振动切削装置的结构设计,并结合有限元仿真优化分析,研制了谐振频率达110 kHz的轻量化高频超声椭圆振动装置。该装置在弯振与纵振方向可分别输出2.5 μm与1 μm的稳定振幅。然后,搭建了复合加工平台,系统分析了负载质量对快刀伺服系统输出幅值的影响,明确了其最优工作负载区间(≤100 g),验证了所研制振动装置与快刀伺服系统的动态耦合可行性。最后,以S136模具钢为对象,开展了微结构阵列切削实验。实验结果表明,所加工的微结构阵列形貌均匀,结构轮廓的深度误差和宽度误差分别为11.62%和3.61%,且刀具磨损可忽略不计。本研究不仅验证了所提复合加工方案的可行性与稳定性,还为解决难加工材料表面复杂微结构的高效超精密加工提供了一种有效的技术途径。