关键词： 光栅位移测量; 光栅干涉仪; 拼接光栅; 波前测量

中图分类号：O439

文献标志码：A

doi：10.37188/CO.EN-2025-0023

CSTR：32171.14.CO.EN-2025-0023

1 Introduction

In modern industrial systems， high-pre（试读）...