中图分类号：F426.63 文献标志码：A 文章编号：2096-0808（2025）27-0063-06

DOI：10.3969/j.issn.2096-0808.2025.27.010

引言

近年来，半导体行业作为高新技术的代表，得到了国家政策的大力支持和各地政府的积极投资（试读）...