2023 年，中国电科实现国产离子注入机28 纳米工艺制程全覆盖， 有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变（试读）...
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