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微波部件多功能真空镀膜系统安全设施设计-今日消防2025年11期

微波部件多功能真空镀膜系统安全设施设计

作者:闫肃 时烁 字体:      

摘要:微波部件多功能真空镀膜系统属于原子层沉积设备,在运行时可能存在火灾、爆炸、中毒和窒息等风险。现根据《中华人民共和国安全生产法》《建设项目安全设施“三同时”监督管理办法》等国家法律法规及标准的有关(试读)...

今日消防

2025年第11期