摘要:微波部件多功能真空镀膜系统属于原子层沉积设备,在运行时可能存在火灾、爆炸、中毒和窒息等风险。现根据《中华人民共和国安全生产法》《建设项目安全设施“三同时”监督管理办法》等国家法律法规及标准的有关(试读)...