摘 要：采用直流磁控溅射法沉积铝薄膜，利用扫描电子显微镜（SEM）、四探针电阻测试仪和红外发射率测试仪对其形貌和性能进行表征，研究溅射功率（70、90、110、130 W）对铝薄膜的沉积速率、表面形貌、电学性能（试读）...
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