摘要 作为一种典型的难加工材料，多晶金刚石的抛光存在着材料去除率低、损伤引入较多、难以获得亚纳米级粗糙度等诸多问题。采用一种基于大气电感耦合等离子体的非接触式加工方法，在纯氩等离子体中引入氧气作为反应气（试读）...
登录
