摘要 单晶碳化硅具有高硬度和高化学惰性，化学机械抛光方法难以同时保证其加工效率和表面质量。电化学机械抛光具有较高的材料去除率，是加工碳化硅的一种有效方法。然而，目前针对碳化硅电化学机械抛光液的相关研究还（试读）...
登录
