中图分类号：TH703；TN304 文献标识码：A

doi：10.37188/OPE.20263405.0734 CSTR：32169.14.OPE.20263405.0734

1引言

随着现代光通信的发展，光通信行业需要更小尺寸、更低功耗和更快响应时间的器件，微机电系 统（M（试读）...