文章编号 1004-924X（2026）09-1400-11
摘要：高阶非球面高精度干涉检测是超精密光学加工的关键环节。传统手动干涉检测依赖专家经验，效率低且难以满足批量化检测需求。为此，基于刚体运动学与Fringe Zernike像差理论（试读）...
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