摘 要：光导开关是一种新型半导体光电子器件，在光通讯、雷达、微波等领域广泛应用，但在高工作电压的条件下会发生表面击穿等问题，因此需要对其进行封装提高侧面的耐压性能。该文选用光波导的方式对碳化硅晶片（试读）...
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