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4H-SiC同质外延材料堆垛层错缺陷的表征与研究-标准科学2025年13期

4H-SiC同质外延材料堆垛层错缺陷的表征与研究

作者:芦伟立 房玉龙 李帅 王启蘅 韩明睿 王波 字体:      

Characterization and Research on Stacking Faults and Defects of 4H-SiC Homogeneous Epitaxial Wafer

LU Weili FANG Yulong"LI ShuaiWANG QihengHAN MingruiWANG Bc (The 13th Research Institute of China Ele(试读)...

标准科学

2025年第13期